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         超精密振动位移测量仪
厂商名称 产品名称 产品型号

□北京工研精机股份有限公司 □超精密振动位移测量仪  □ DWS4
产品描述：

 ■ 电容不接触式原理；

 ■ 曾获国际发明奖、国家科技进步奖。

 
技 术 指 标：

项       目

 值

主轴回转精度

 　

量      程

3.000/30.00/300.0 μm

分  辨  率

0.002/0.02/0.2 μm

最大非线性

 <1%

频 响 范 围

 0-7.5 kHz

零 点 漂 移

 <1% Per Hour

仪 器 输 出

 0-±5.1V    0-20 mA
典 型 应 用：
　

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